高純工藝設備板塊股票有：至純科技。

　　6月16日晚間復盤消息，至純科技（603690）漲1.57%，報34.900元，成交額4億元。

　　6月16日消息，至純科技資金凈流入791.34萬元，超大單凈流入819.7萬元，換手率3%，成交金額4億元。

　　2022年報顯示，至純科技凈利潤2.82億，毛利率35.36%，每股收益0.89元。

　　國內高純工藝系統及半導體裝備領域主流合格供應商，國內高純工藝系統與高純工藝設備龍頭。

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