截止2024年3月15日，個股表現方面，半導體設備股票中，博杰股份(002975)當日報收40.15，上漲5.52%，成交量6.76萬。盛劍環境(603324)以上漲4.19%緊隨其后，該股當日成交量4.4萬。此外，機器人(300024)、精智達(688627)、東方鉭業(000962)均進入當日半導體設備股票上漲股之列。

　　市值來看，截止2024年3月15日，半導體設備股票中精智達、東方鉭業、博杰股份、快克智能、盛劍環境等5家市值位于不足100億之列；機器人市值位于100億到500億之列。

　　數據由南方財富網整理提供，僅供參考，不構成投資建議，股市有風險，投資需謹慎，據此操作，風險自擔。