光刻機(jī)概念股有：

　　晶瑞電材300655：

　　從近三年ROE來看，近三年ROE均值為7.77%，過去三年ROE最低為2019年的5.76%。

　　公司購買的ASMLXT1900Gi型ArF浸入式光刻機(jī)設(shè)備用于公司集成電路制造用高端光刻膠研發(fā)項(xiàng)目，用于測試光刻膠產(chǎn)品性能，公司無生產(chǎn)芯片業(yè)務(wù)。

　　芯源微688037：

　　從近三年ROE來看，近三年ROE均值為11.2%，過去三年ROE最低為2020年的6.31%。

　　作為與光刻機(jī)配合進(jìn)行作業(yè)的關(guān)鍵處理設(shè)備，公司生產(chǎn)的涂膠/顯影機(jī)成功打破國外廠商壟斷并填補(bǔ)國內(nèi)空白，其中在LED芯片制造及集成電路制造后道先進(jìn)封裝等環(huán)節(jié)，作為國內(nèi)廠商主流機(jī)型已成功實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代；通過多年的技術(shù)研發(fā)、實(shí)踐應(yīng)用積累以及持續(xù)承擔(dān)國家02重大專項(xiàng)，公司成功突破了應(yīng)用于集成電路制造前道晶圓加工環(huán)節(jié)的涂膠顯影設(shè)備技術(shù)，成型產(chǎn)品目前正在長江存儲、上海華力等前道芯片制造廠商進(jìn)行工藝驗(yàn)證。

　　永太科技002326：

　　從近三年ROE來看，近三年ROE均值為9.32%，過去三年ROE最低為2020年的3.67%，最高為2018年的15.54%。

　　截至20年10月，公司光刻膠項(xiàng)目目前生產(chǎn)線已建成待商業(yè)化生產(chǎn)，公司正在積極與下游客戶商談合作，該項(xiàng)目產(chǎn)能為1500噸/年CF光刻膠。 。

　　萬業(yè)企業(yè)600641：

　　從近三年ROE來看，近三年ROE均值為10.07%，過去三年ROE最低為2020年的4.88%，最高為2018年的15.97%。

　　公司全資子公司凱世通作為生產(chǎn)N型太陽能電池所需的光伏離子注入機(jī)的國內(nèi)唯一廠商；參股公司（持股19%）上海半導(dǎo)體裝備材料基金宣布入股華卓精科，標(biāo)的企業(yè)生產(chǎn)的光刻機(jī)雙工件臺打破了ASML公司在光刻機(jī)工件臺上的技術(shù)壟斷，成為世界唯二掌握雙工件臺核心技術(shù)的公司。

　　數(shù)據(jù)由南方財(cái)富網(wǎng)提供，僅供參考，不構(gòu)成投資建議，股市有風(fēng)險，投資需謹(jǐn)慎，據(jù)此操作，風(fēng)險自擔(dān)。