據(jù)南方財富網概念查詢工具數(shù)據(jù)顯示，薄膜沉積設備概念股有：

　　盛美上海688082：

　　近5日盛美上海股價下跌4.44%，總市值下跌了17.18億，當前市值為386.17億元。2024年股價下跌-17.57%。

　　萬業(yè)企業(yè)600641：子公司嘉芯半導體多次中標多款設備。包含快速熱處理（RTP）、氮化硅等離子刻蝕機、金屬等離子刻蝕機、側墻等離子刻蝕機、高密度等離子薄膜沉積設備（HDP-CVD）、二氧化硅等離子薄膜沉積設備（PECVD）、鋁銅金屬濺射設備（PVD）、摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學沉積設備（SACVD）以及鈦/氮化鈦沉積設備（MOCVD）等。

　　在近5個交易日中，XD萬業(yè)企有3天下跌，期間整體下跌6.16%。和5個交易日前相比，XD萬業(yè)企的市值下跌了5.68億元，下跌了6.16%。

　　拓荊科技688072：聚焦于半導體薄膜沉積設備，2021年營收7.6億元，同比增長74%。

　　近5個交易日，拓荊科技期間整體下跌4.04%，最高價為128.17元，最低價為122.75元，總市值下跌了13.58億。

　　數(shù)據(jù)僅參考，不構成投資建議，據(jù)此操作，風險自擔。