據南方財富網概念查詢工具數據顯示，高純工藝設備概念龍頭上市公司有：

至純科技603690：龍頭股，

近3日至純科技股價上漲3.73%，總市值下跌了2.72億元，當前市值為101.82億元。2025年股價上漲5.39%。

國內高純工藝系統及半導體裝備領域主流合格供應商，國內高純工藝系統與高純工藝設備龍頭。

高純工藝設備概念股其他的還有：

盛劍科技603324：近7日股價上漲2.43%，2025年股價下跌-4.86%。

杭氧股份002430：近7個交易日，杭氧股份上漲3.46%，最高價為19.33元，總市值上漲了6.89億元，2025年來下跌-7.76%。

新萊應材300260：在近7個交易日中，新萊應材有4天下跌，期間整體下跌0.35%，最高價為35.58元，最低價為34.64元。和7個交易日前相比，新萊應材的市值下跌了4893.68萬元。

數據由南方財富網提供，僅供參考，不構成投資建議，據此操作，風險自擔。